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2026年2月6日 | 5分で読める

Zerodur または ULE ガラス:どのように選ぶか?

低熱膨張ガラスについて議論する際、SchottのZerodurとCorningのULEガラスがすぐに思い浮かびます。どちらも熱膨張係数がほぼゼロであることで知られています。では、あなたの用途にはZerodurとULEのどちらを選ぶべきでしょうか?私たちの多次元的な比較を通じて、適切な材料をより明確に選択できるようお手伝いできればと思います。

材料概要

Zerodur

ドイツのSchott AGが開発した低熱膨張ガラスセラミックスは、6種類の異なる熱膨張グレードで提供されています。(リンクをクリックしてZerodurの詳細をご覧いただけます) 低いCTEを持ちながら、通常のガラスにはない機械的強度を備えており、高精度の加工が可能です。

ULE

Corningが開発したULEガラスは、安定した熱膨張係数を持っています。最高800°Cの温度で動作可能で、優れた温度適応性を示し、熱膨張や収縮による変形を防ぎます。(クリックしてULEの詳細を表示)

熱性能の比較

Zerodurは特定の温度範囲でほぼゼロの熱膨張係数(CTE)を示し、極めて高い寸法安定性が求められる用途に最適です。

対照的に、ULEはより広い温度範囲でより均一で安定したCTEを提供し、温度変動のある環境で有利です。

半導体リソグラフィシステム、特にEUV用途では、Zerodurがより一般的に使用されています。これは、その超低熱膨張と優れた長期安定性が光学精度を維持するために重要だからです。(材料の性能比較について詳しくはこちらをクリック

特性ZerodurULE ガラス
熱膨張係数(CTE)0 ± 0.02×10⁻⁶/K(クラス0)0.00 ± 0.03×10⁻⁶/°C
最高動作温度600°C800°C
熱伝導率1.46 W/(m·K)1.31 W/(m·K)

機械的および光学的特性

材料密度に関して、ULEはZerodurよりも約13%軽量であり、宇宙ペイロードなどの重量に敏感な用途に適しています。

機械的特性に関して、Zerodurはより高い曲げ強度を示し、精密加工プロセス中の許容性に優れています。

光学均質性に関しては、両材料とも優れた性能を発揮しますが、ULEは一般的に優れた屈折率均一性を提供し、レーザー干渉計などの波面歪みに敏感な用途に適しています。

パラメータZerodurULE ガラス
密度2.53g/cm³2.21g/cm³
光学均質性600°C±1 × 10⁻⁶
曲げ強度~40 MPa~30 MPa

用途

ZerodurULE
レーザージャイロスコープミラー天文光学ミラー
分光計光学部品リソグラフィー装置放射ミラー
ウェハーステッパー部品レーザー干渉計キャビティ
機械式レーザー共振器部品レーザー距離計部品

カスタムULE & Zerodur加工メーカー

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