NachrichtenQualität & Prozess
Niedrig-thermische-Ausdehnung-Glasmaterialien werden häufig in hochwertigen Branchen wie Optik, Halbleiterausrüstung und Lasersystemen eingesetzt, wo Dimensionsstabilität bei Temperaturschwankungen entscheidend ist.
Unter diesen sind fünf Materialien—Zerodur, ULE, ClearCeram, Borosilikatglas (BF33) und Quarzglas—die am häufigsten verwendeten Niedrig-CTE-Materialien in der Präzisionstechnik und repräsentieren auch den Großteil unserer Bearbeitungsprojekte.
Entwickelt von SCHOTT, ist Zerodur® ein Glaskeramikmaterial mit einem nahezu null Wärmeausdehnungskoeffizienten. Es ist in mehreren CTE-Klassen erhältlich, um unterschiedliche Präzisionsanforderungen zu erfüllen.
Typische Anwendungen:
Laserkreisel, Spektrometer und Komponenten der Halbleiterlithographie.
Hergestellt von Corning Incorporated, wird ULE® oft direkt mit Zerodur® aufgrund seines ähnlich niedrigen CTE verglichen.
Es bietet hervorragende optische Homogenität und Dimensionsstabilität, was es sehr geeignet für präzise optische Systeme macht.
Typische Anwendungen:
Astronomische Teleskope, Laserresonatoren und ultra-stabile optische Strukturen.
ClearCeram® ist ein niedrig-thermische-Ausdehnung Glaskeramikmaterial, entwickelt von der Ohara Corporation. Durch kontrollierte Kristallisation erreicht es einen nahezu null CTE, während es verbesserte mechanische Festigkeit und Thermoschockbeständigkeit bietet.
Typische Anwendungen:
Präzisionsoptische Komponenten, Metrologieausrüstung und halbleiterbezogene Strukturen.
Borosilikatglas (BF33) ist ein weit verbreitetes industrielles Glasmaterial mit einem relativ niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten, ausgezeichneter chemischer Beständigkeit und hoher optischer Transmission im sichtbaren Bereich.
Typische Anwendungen:
Halbleiterprozessfenster, Inspektionsöffnungen und Laborausrüstung.
Quarzglas ist ein hochreines Siliziumdioxid (SiO₂)-Glas, das für seine geringe thermische Ausdehnung und hervorragende optische Transmission von tiefem Ultraviolett (UV) bis nahem Infrarot (NIR) bekannt ist.
Typische Anwendungen:
Lasersysteme, UV-Optiken, photonische Komponenten und Hochleistungs-Halbleiterfenster.
| Material | Typischer CTE (α, ×10⁻⁶ /K) | Thermische Stabilitätsstufe |
|---|---|---|
| Zerodur | ~0 ± 0,02 | Ultra-niedrig |
| ULE | ~0 ± 0,03 | Ultra-niedrig |
| ClearCeram | ~0 ± 0,1 | Ultra-niedrig |
| Borosilikat (BF33) | ≈ 3,3 | Mittel |
| Quarzglas | ≈ 0,5 | Sehr niedrig |
Benötigen Sie ultrahohe Dimensionsstabilität (Nano-/Submikron-Ebene)?
→ ULE® oder Zerodur® Benötigen Sie geringe Ausdehnung mit besserer mechanischer Festigkeit?
→ ClearCeram® oder Zerodur® Benötigen Sie chemische Beständigkeit mit moderater thermischer Leistung?
→ Borosilikatglas (BF33) Benötigen Sie UV-Transparenz und hohe Laserbeständigkeit?
→ Quarzglas Arbeiten Sie mit begrenztem Budget und weniger anspruchsvollen thermischen Bedingungen?
→ BF33 oder alternative kostengünstige Substrate
Bei Jundro spezialisieren wir uns auf die Ultrapräzisionsbearbeitung von Materialien mit geringer thermischer Ausdehnung und ermöglichen die Herstellung komplexer Geometrien wie gekrümmte Oberflächen, komplizierte Strukturen, leichte Designs und Wabenkonfigurationen. Mit fortschrittlichen Bearbeitungsfähigkeiten erreichen wir optische Ebenheit bis zu λ/20, halten enge Toleranzen für kritische Komponenten ein und bieten optionale optische Beschichtungsdienste an, um anspruchsvolle Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Wenn Sie in den Bereichen Präzisionsoptik, Halbleiterausrüstung oder Lasersysteme tätig sind, unterstützen wir Sie gerne bei der Materialauswahl und Bearbeitung mit zuverlässigen, leistungsstarken Lösungen.
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