半导体领域

在半导体行业,碳化硅陶瓷发挥着无可取代的作用,主要体现在以下几个方面

衬底材料:碳化硅陶瓷经常被用作半导体器件的衬底材料。碳化硅陶瓷由于其优异的导热性、化学稳定性和尺寸稳定性,非常适合作为高性能半导体器件的衬底材料,如功率器件、RF器件等。

衬底材料:在半导体生长过程中,碳化硅陶瓷也被用作衬底材料。例如,在气相外延(CVD)或物理气相沉积(PVD)工艺中,在碳化硅陶瓷衬底上沉积半导体材料可以获得高质量、高纯度的半导体薄膜。

热和散热器件:由于碳化硅陶瓷具有优异的导热性,它们经常被用作半导体器件的散热器件。在集成电路和功率器件等半导体器件中,高温会影响器件性能,而碳化硅陶瓷优异的导热性可以有效地导热并保持器件的稳定工作温度。

封装材料:碳化硅陶瓷也用于半导体器件的封装工艺。其化学稳定性和尺寸稳定性可以保护设备免受外部环境的影响,并且具有良好的绝缘性能,有助于防止电气故障和设备损坏。

微电子器件:在微电子器件中,碳化硅陶瓷也常用作器件制造中的绝缘和介电层。其化学稳定性和机械强度可以保护微电子器件免受环境因素的影响,并提供良好的绝缘性能

 


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