肖特Zerodur微晶玻璃因其极低的热膨胀系数、高热稳定性、优异的光学性能和良好的化学稳定性等独特物理特性，在半导体行业以下几种地方中得到广泛应用：

1：晶圆夹具和载具：用于半导体制造过程中的晶圆精确固定。

2：光刻机中的光学元件：用于制造光刻机中的透镜和镜片，确保图像质量和精度。

3：传感器和检测设备：用于监控和测量半导体生产线上的过程。

4：精密平台和基准面：用于设备的准确对准和组装维护。

肖特Zerodur微晶玻璃在半导体行业中主要用于需要高精度、高稳定性和高可靠性的关键部件和设备中，以确保半导体制造过程的顺利进行，提高产品的质量和产量。