玻璃陶瓷
氮化物
氧化铝
碳化物
氧化锆
石英玻璃
蓝宝石
复合材料
可加工玻璃陶瓷固定环由康宁的Macor陶瓷材料制成,具有出色的机械、热和电气性能。在半导体制造设备中,它们可以精确地定位和保护敏感元件和芯片,特别是在高温和真空环境中。真空室的固定部件主要由Macor材料制成,以确保设备的稳定性。
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