碳化硅（SiC）静电吸盘

碳化硅（SiC）静电吸盘通过静电吸附来固定晶圆，实现无机械夹持的稳定固定，常应用于半导体设备当中：

干法蚀刻机、PVD/CVD 腔体、离子注入设备

200mm/300mm 晶圆 的固定

化学气相沉积/物理气相沉积

光刻