氧化铝陶瓷零件
氧化铝陶瓷零件有高硬度高耐磨等特点,利用高纯度氧化铝制作的零件,在半导体、自动化、航天航空、医疗等领域有着不可替换的作用,例如夹持手臂、晶圆卡盘、柱塞、阀芯、绝缘环等
对于氧化铝(Al₂O₃)陶瓷,我们能达到以下精度:
材质:氧化铝
圆度:0.001mm
最小内螺纹:M1.2
平面度:0.001mm (φ300)
同心度:0.005mm
平行度:0.001mm
粗糙度:Ra0.03μm
加工精度:0.001mm
最大尺寸:φ500mm
氧化铝陶瓷零件有高硬度高耐磨等特点,利用高纯度氧化铝制作的零件,在半导体、自动化、航天航空、医疗等领域有着不可替换的作用,例如夹持手臂、晶圆卡盘、柱塞、阀芯、绝缘环等
对于氧化铝(Al₂O₃)陶瓷,我们能达到以下精度:
材质:氧化铝
圆度:0.001mm
最小内螺纹:M1.2
平面度:0.001mm (φ300)
同心度:0.005mm
平行度:0.001mm
粗糙度:Ra0.03μm
加工精度:0.001mm
最大尺寸:φ500mm