氧化铝陶瓷零件

氧化铝陶瓷零件有高硬度高耐磨等特点,利用高纯度氧化铝制作的零件,在半导体、自动化、航天航空、医疗等领域有着不可替换的作用,例如夹持手臂、晶圆卡盘、柱塞、阀芯、绝缘环等

对于氧化铝(Al₂O₃)陶瓷,我们能达到以下精度:

材质:氧化铝

圆度:0.001mm

最小内螺纹:M1.2

平面度:0.001mm (φ300)

同心度:0.005mm

平行度:0.001mm

粗糙度:Ra0.03μm

加工精度:0.001mm

最大尺寸:φ500mm


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