本节介绍校准设置、使用的材料和使用一般多项式方法的校准结果。为了校准多点测量系统，将光源曲折地移动到物体空间中的M个测量点。NPMM-200 用于移动光源。
纳米测量定位机NPMM-200
NPMM-200 由带精密导轨和驱动器的三轴定位系统组成。它是根据所谓的样品扫描模式设计的，在这种模式下，要测量的物体而不是测量传感器会移动。可移动测量对象载体的位置由三个干涉仪确定。干涉仪的布置方式使其光束的虚拟交点在空间上固定在测量传感器的接触点上。可移动的测量对象载体具有三个高精度测量的反射表面[?20 ]，干涉仪光束在其上被反射。图6显示了 NPMM-200 的测量对象载体和计量框架。
